法國原子能暨替代能源總署(CEA)轄下的電子暨資訊技術研究室(CEA-Leti)與法國新創公司iNGage將加速推動M&NEMS高階感測技術的量產時程。iNGage於去(2025)年2月成立,前身是CEA旗下Magellan新創加速計畫育成兩年的專案,近期完成600萬歐元資金募集,目標為開發用於自動駕駛、國防、汽車與工業領域的高性能慣性感測器。
其技術將微機電系統(Micro electro mechanical Systems,MEMS)與奈米電機系統(Nanoelectromechanical systems,NEMS)融合於單一晶粒中,整合三顆高性能陀螺儀與三顆加速計,官方宣稱靈敏度可達現行消費級與車用MEMS感測器的10倍。此精度可使車輛在高速行駛、無GPS訊號狀況下,持續1分鐘仍能維持約50公分的定位準確度,大幅優於現有商用MEMS晶片數十公尺的漂移誤差。
為加快技術規模化,iNGage已與CEA-Leti簽訂共用實驗室合作協議,後續將把M&NEMS技術轉移至晶圓代工廠,並開發整合MEMS與嵌入式電子電路的完整原型,供客戶進行初期驗證。整項技術由過去15年研發累積的30項專利組成,並與米蘭理工大學(Politecnico di Milano)長期合作,強化歐洲在高階感測與自主系統領域的技術自主與供應鏈布局。
資料來源 :
https://www.leti-cea.fr/cea-tech/leti/Pages/actualites/News/iNGage-Joint-Lab-to-Accelerate-Industrialization-FR.aspx
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